Fotolitografi, çip tasarım şablonlarının, ışığa duyarlı kimyasallarla kaplı silikon plakalar (wafer) üzerine ışık yansıtılarak aktarılması işlemidir. Çip üretiminin en kritik ve en zor adımıdır.
Günümüzde 3 nanometre gibi aşırı küçük boyutlara ulaşabilmek için Aşırı Ultraviyole (EUV) litografi makineleri kullanılmaktadır. Hollandalı ASML firması tarafından üretilen bu devasa makineler, dünyanın en karmaşık ve en hassas teknolojik cihazları olup çip üretiminin sınırlarını belirler.